ÄãÏþµÃû£¬¹ðÁֵĻªÁªºó½Ö£¬ÄÇÕæÊǸö¡°²ØÁúÎÔ»¢¡±µÄµØ·½¡£³ÔµÄ¡¢ºÈµÄ¡¢ÍæµÄ£¬¸Â¸Â¸»ºñ£¬¼òÖ±ÊǹðÁÖÈ˵ĺó»¨Ô°¡£¸ü×Ó½²£¬ÄÇÀïÁíÓÐһЩֻÓÐÍâµØÈ˲Ŷ®µÄÆìºÅºÍ¹æÔò£¬ÌرðÊǼ۸ñ·½Ã棬ÍâµØÈËÒ»Á³ã¶®£¬¹ðÁÖÈËÈ´ÍæµÃÆð¾¢¡£½²µ½ÕâÀ²»µÃ²»¸úÄã°ËØÔһϡ°»ªÁªºó½ÖµÄÆìºÅÓë¼Û¸ñ¡±£¬ÄãÌý×Å࣡£
»ªÁªºó½ÖµÄÆìºÅÊǸü×Ó£¿
ÄãÏþµÃû£¬»ªÁªºó½ÖÄÇ¿ÓÐЩ̯×Ó£¬ÂôµÄ¹¤¾ßÊÇ¡°Ò»ÂëÁ½¼Û¡±¡£ßÖ£¬±ð¼±×ÅÅçÈ˼ң¬ÕâÊÇÒ»ÖÖÀϹæÔòÀ²£¬¾ÍÏñÃ׷۵ġ°Â±Ë®¼ÓÈ⡱µÄ¸ã·¨¡£à¸¸úÄ㽲ࣣ¬ÆìºÅÕâ¸ö¹¤¾ß°¡£¬Ö÷ÒªÊǸøÊìÈËÓõģ¬ºÃ±ÈÄã¸úÀϰåÊìµÃÏñÐֵܣ¬½²¸öÆìºÅ£¬¼Û¸ñ¾ÍÍ×Í×µÄ×ÔÖÆÒ»½Ø¡£Ã»ÊìµÄÈËÂï£¬Ç¸ØÆà££¬ÕÕ¹ÒǽÉϵıê¼ÛÀ´¡£Äã½²ÊDz»ÊǸü×Ó£¿
ûÆìºÅÕ¦°ì£¿¼Û¸ñ»á²»»á±»¿Ó£¿
¶ªÄÇÐÇ£¬Õâ¸öÎÊÌâºÃ¶àÈ˶¼Îʹý£¬´ðÄã¶¼À§À²¡£Æäʵºó½ÖµÄ¼Û¸ñ£¬³ý·ÇÄãÊÇÍâµØÈË£¬Àϰ忴ÄãÏñ¸ö¡°ßóÔû³æ¡±£¬²Å¿ÉÄܸøÄãÀ´¸ö¸ß¼Û¡£Ò»°ãÍâµØÈËÂ½²Á½¾ä¹ðÁø»°£¬Àϰå¾ÍÏþµÃÄãÊÇ×Ô¼ºÈË£¬¼Û¸ñ×ÔÈ»ºÜ¹«Õý¡£Äã²»ÏþµÃÆìºÅҲû¹ØÏµ£¬Ö»Òª²»ÊÇÃÆÍ·¼¦£¬¿ª¿ÚÎÊÎʼ۸ñ¾ÍÐУ¬¸ãÂÑû¼ûµÄ¡£
ÐÑÁúµã£ºÈç¹ûÄã×ì°ÍÌðÒ»µã£¬¿äÀϰåÁ½¾ä£¬ËµËûÊÇ¡°¹ðÁÖÃ×·ÛÍõ¡±£¬¸ãÇ·ºÃ»¹ÄܶàËÍÄãµãÁÏ£¬ÂÑˬ·ÌìßÖ¡£
½²µã±ðµÄ£¬ºó½ÖÓÐɶֵµÃ¿ËµÄµØ·½£¿
¸ü×Ó½²£¬»ªÁªºó½Ö³ýÁËÆìºÅºÍ¼Û¸ñ£¬³ÔºÈÍæÀÖÒ²ÂѸ»ºñ¡£ÄãÏë³ÔÀϹðÁÖÃ×·Û£¬ÕâÀïÓм¸¼Ò¶ã½ÇÂäµÄÀÏ×ֺţ¬Â±Ë®ÏãµÃÂÑ»ðÌÌ£¬³ÔÍêˬµ½ÂѶ¼µø¡£ÁíÓÐÂôËá‡SµÄ̯×Ó£¬ÌرðÊÇâ¹ûËᣬÂéÖ±ºÃ³Ô£¬Ò§Ò»¿ÚËáµÃÄãÁ³¶¼³é½î¡£ÒªÊÇÍíÉϿˣ¬µÆ×ÆË¸µÃÏñ¹ýÄê£¬Ëæ±ãÅÄÕÅÕÕ¶¼ÏñÓ°Ï·³¡¾°£¬Äã½²ÊDz»ÊǹýÁú£¿
ÆìºÅµÄÓ÷¨£¬Ôõô¸ã²Å²»»á¶ªÈË£¿
½²µ½Õâ¸ö£¬¶ªÄÇÐÇ£¬²îµãû¼ÇµÃÌáÐÑÄã¡£ÆìºÅßÖ£¬Ç§Íò±ðÖ±½Ó¸úÀϰ彲¡°Î¹£¬¸ã¸öÆìºÅ¼Û¸ñ£¡¡±ÄãÕâÑù½²£¬È˼ÒÖ±½Ó¸øÄã¸ãÂÑëÀ²¡£ÕýÈ·µÄ¸ã·¨ÊÇ£¬¸úÀϰåÎûÎû¹þ¹þÁÄÁ½¾ä£¬ÎÊÎÊ¡°°¥£¬Õâ¸ö¸ü×Ó¼¸¶àÇ®£¿¡±È»ºóÔÙ²¹Ò»¾ä¡°ÊìÈ˼۸ü×Ӹ㷨£¿¡±Àϰ嶮ÁË£¬×ÔÈ»»á»ØÄãÒ»¾äÆìºÅ£¬¼Û¸ñ¾Í³öÀ´À²¡£
ÄǾ¿¾¹Òª¸ü×ÓÑ¡²Åû²È¿Ó£¿ÂÑÓö¼Ã»£¡Äã¾Í¼Ç×ÅÒ»µã£º½²¹ðÁø»°£¬ÌýÀϰ彲ÆìºÅ£¬ÊìÈ˼۸ñ×ÔÈ»µ½ÊÖ¡£¸ãÂÑû¼û£¬¸ÒÊÔ²»£¿
»ªÁªºó½Ö, ÆìºÅ¼Û¸ñ, ¹ðÁÖÍâµØÉú»î, ºó½Ö¹¥ÂÔ, ¹ðÁø·½ÑÔ
¡¶Ð¡À®°ÈxlbÂÛ̳¡·
²ÆÎñÆÊÎöÖÇÄÜÌ壺10·ÖÖÓÉú³É¸ßÖÊÁ¿²ÆÎñ±¨¸æ£¬×Ô¶¯Ê¶±ðÒì³£ÓöÈÖ§³ö£¬¹ØÁªÒµÎñ¶¯ÒòÌá³öÓÅ»¯½¨Òé¡£
¡¶²ý¼ªÆ·ÜøÈº¡·
ÔÚ¿Æ´´Ðͬ·½Ã棬¸è¶û΢µç×ÓÓëÇൺÍâµØ¸ßУ¡¢¿ÆÑлú¹¹ÏàÖú½¨Á¢ÁËMEMSÑз¢ÖÐÐÄ£¬ÖÂÁ¦ÓÚÍÆ¶¯¼¼Êõ½á¹ûÂäµØ×ª»¯£¬ÊµÏÖ¶Ô½¹µã¾ºÕùÁ¦µÄÁ¬ÐøÖ§³Å¡£±ðµÄ£¬ÇൺÊÐÕþ¸®»¹Îª¸è¶û΢µç×ÓÌṩÁË1.2ÒÚÔª¹¤Òµ°ïÖú×ʽð£¬ÓÃÓÚ½¨Éè¹ú¼Ò¼¶MEMS¼ì²âʵÑéÊÒ£¬½øÒ»²½Ç¿»¯Æä¼¼Êõ±ÚÀÝ¡£
¡¶³ÇÖдåæÎ¼ËÀÏÊìÅ®²»´÷Ìס·
º«¹úÆåÔºÌåÏÖ£¬½«¾¡¿ìÓëÖйúÆåÔº¡¢ÈÕ±¾ÆåÔºµÈ½øÐгä·ÖÌÖÂÛ£¬Öƶ¨ÇкÏÊÀ½ç´óÈüµÄͳһ¹æÔò¡£